特許権 反射型投影光学装置 国立大学法人東北大学 豊田 光紀 出願番号 特願2009-152742 出願日 2009年6月26日 公開番号 特開2010-079257 公開日 2010年4月8日 特許番号/登録番号 特許第5489034号 登録日 発行日 2014年3月7日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201403069544882460URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201403069544882460 ID情報 J-Global ID : 201403069544882460