放電プラズマ焼結による有機高分子の熱分解ガスを利用して創製したCu基バブル分散強化合金(BDS-Cu)において、X線小角散乱(SAXS)、中性子小角散乱(SANS)、及び透過型電子顕微鏡(TEM)を用いることにより、ナノバブルのサイズとナノバブル内物質の化学成分を調べた。BDS-Cuと純Cuにおける中性子散乱強度の違いから、ナノバブルの平均半径は2nmであり、TEM観察による測定と非常に良い一致を示した。また、ナノバブルからのX線散乱と中性子散乱の強度比から、ナノバブル内に水素を含有した有機高分子の存在が示唆された。