東條徹 (Toru Tojo) - マイポータル

基本情報

学位: 半導体製造装置における超精密位置決め技術に関する研究(東京大学)

J-GLOBAL ID: 200901039256282943
researchmap会員ID: 5000088925

研究キーワード

研究分野

経歴

（株）トプコン総務, 特別嘱託

MISC

Optimum optics for die-to-wafer-like image mask inspection

Akira Takada, Toru Tojo, Masato Shibuya

OPTICAL REVIEW 16(2) 59-65 2009年3月
Coherence control of illumination optics in mask inspection systems

Akira Takada, Toru Tojo, Masato Shibuya

JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 7(4) 043010-1～043010-8 2008年10月
A New Algorithm for Die-to-wafer-like Image mask Inspection in Real Time, , Vol., No., , .

Akira. Takada, Toru. Tojo, Masato. Shibuya

OPTICAL REVIEW 14(6) 384-394 2007年
Mask inspection technology for 65nm (hp) technology node and beyond

T Tojo, R Hirano, H Inoue, S Imai, N Yoshioka, K Ohira, DH Chung, T Terasawa

Characterization and Metrology for ULSI Technology 2005 788 457-467 2005年
Advanced mask inspection optical system (AMOS) using 198.5nm wavelength for 65nm (hp) node and beyond - System development and initial state D/D inspection performance

T Tojo, R Hirano, H Tsuchiya, J Oaki, T Nishizaka, Y Sanada, K Matsuki, Isomura, I, R Ogawa, N Kobayashi …

24TH ANNUAL BACUS SYMPOSIUM ON PHOTOMASK TECHNOLOGY, PT 1 AND 2 5567 1011-1023 2004年
次世代LSI製造におけるリソグラフィ技術

東條徹

機械の研究 53(3) 21-29 2001年
電子ビームマスク描画装置技術の現状と課題

小笠原宗博, 東條徹

電子情報通信学会論文誌 J84-C(J84-C) 1171-1184 2001年
超LSI用フォトマスク製作を実現したEB描画装置・欠陥検査装置

東條徹, 土屋秀雄, 野村武彦

東芝レビュー 54(11) 15-19 1999年
Advanced electron beam writing system EX-11 for next- generation mask fabrication, , (), . (Yokohama, JAPAN)

Toru. Tojo, Ryoichi Yoshikawa, Yoji Ogawa, Shuichi Tamamushi, Yoshiaki hattori, Souji Koikari, Hideo Kusakabe, Takayuki Abe, Munehiro Ogasawara, Kiminobu Akeno …

Photomask and X-ray Mask Technology Ⅵ SPIE Vol.3748 p416-425 1999年
1Gb時代のULSI製造のためのリソグラフィー技術

東條徹

超精密（精密工学会、超精密加工専門委員会） 7 53-63 1997年
Mask Defect Inspection Method by Database Comparison with 0.25-0.35 μm Sensitivity

Toru. Tojo, Mitsuo Tabata, Kyoji Yamashita, Hideo Tsuchiya, Toshiyuki Watanabe, Chikara Itoh, Akira Ono, Hiromu Inoue, kentaro Okuda, Hisakazu Yoshino

Jpn. J. Appl. Phys. 33(12B) 7156-7162 1994年
New TTL Alignment Method for Optical Lithography System -Chromatic Aberration-Free TTL Alignment Technique Using Two Incident Beams-

Toru. Tojo, Tatsuhiko Higashiki, Mitsuo Tabata, takeshi Nishizaka

Int. J. Japan Soc. Proc. Eng. 26(2) 144-151 1992年
投影露光装置用TTLアライメント法－2光束入射を用いて色収差を解決したTTLアライメント－

東條徹, 東木達彦, 田畑光雄, 西坂武士

精密工学会誌 58(3) 539-545 1992年
ナノメータオーダの位置決め技術の現状と将来

東條徹

精密工学会誌 56(3) 29-33 1990年
The effect of intensity distribution in the reflected beam on the detection error of monochromatic optical auto-focus system, May/ June, , .

Toru. Tojo, Mitsuo Tabata, Yoriyuki Ishibashi

J. Vac. Sci. & Technology 8(3) 456-462 1990年
Piezoelectric- driven Turntable with High Positioning Accuracy (2nd Report) -Reliability of Piezoelectric-Driven Turntable-

Toru. Tojo, kazuyoshi Sugihara, Susumu Saito

Bulletin of the JSPE 24(2) 87-93 1990年
圧電素子を用いた高精度回転微動機構(第2報)－信頼性－

東條徹, 杉原和佳, 斉藤晋

精密工学会誌 55(12) 2181-2186 1989年
Piezoelectric-driven Turntable with High Positioning Accuracy (1st Report)-Operation principal and basic performance-

Toru. Tojo, kazuyoshi Sugihara

Bulletin of the JSPE 23(1) 65-71 1989年
圧電素子を用いた高精度回転微動機構(第1報)－回転原理と基本特性－

東條徹, 杉原和佳

精密工学会誌 53(6) 37-42 1987年
Nobel Piezoelectric-driven XYθ wafer table for an electron beam image projector, (TECHNICAL NOTE)

Kazuyoshi Sugihara, Ichirou Mori, Toru Tojo, Chikara Ito, Mineo Goto, Mitsuo Tabata, T. Shinozaki

PRECISION ENGINEERING 7(3) 174-175 1985年

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書籍等出版物

トライボロジ（PRINCIPLE OF TRIBOLOGY, J.ホーリング著）、松永正久監訳（松本有史、佐々木貞夫、河内康伸、東條徹、杉原和佳）、

近代科学社 1984年

共同研究・競争的資金等の研究課題

高分解能眼底顕微鏡

ＪＳＴ先端計測分析技術・機器開発事業 2005年 - 2008年
次世代マスク欠陥検査装置技術

補助金 2001年 - 2004年
電子ビーム描画装置技術

委託研究 1996年 - 2004年

産業財産権

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