2021年4月 - 2025年3月
パルスソース型真空エレクトロスプレービーム銃の開発とTOF-SIMSへの応用
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B) 基盤研究(B)
- 課題番号
- 21H03734
- 体系的課題番号
- JP21H03734
- 担当区分
- 研究代表者
- 配分額
-
- (総額)
- 14,430,000円
- (直接経費)
- 11,100,000円
- (間接経費)
- 3,330,000円
- 資金種別
- 競争的資金
以前に開発した真空エレクトロスプレー液滴イオン(VEDI)ビーム銃はビームを短パルス化できないという弱点があるため、飛行時間型二次イオン質量分析計(TOF-SIMS)で応用していくことが極めて困難である。そこで本研究では、イオンビームのソース部を極短パルス化するという全く新しい発想のもと、パルスソース型VEDIビーム銃を開発し、それをTOF-SIMSの一次イオンビームとして利用するための研究開発を開始した。
2021年度の研究開発においては、まずどれほど短時間までエレクトロスプレーの発生を制御することができるかを大気圧下での実験によって明らかにした。最短75 nsで9 kVのパルス高電圧まで出力できるプッシュプル型高速高電圧トランジスタスイッチを用いて電気回路を構築し、それによりどれほど短時間までエレクトロスプレーの発生を制御できるか実験するとともに、そのような極限状況でのエレクトロスプレー発生メカニズムについて研究した。この実験では、先端内径が1から4ミクロンのシリカ製キャピラリーに電極として本体直径が120ミクロンのSUS針を挿入し、そのSUS針にパルス高電圧を印加してエレクトロスプレーが発生するかどうかを質量分析計によって確認した。これまでは最短で200 nsまでしかエレクトロスプレーの発生を確認できていなかったが、今回の実験で100 ns以下の短時間でもエレクトロスプレーが発生することを確認した。
2021年度の研究開発においては、まずどれほど短時間までエレクトロスプレーの発生を制御することができるかを大気圧下での実験によって明らかにした。最短75 nsで9 kVのパルス高電圧まで出力できるプッシュプル型高速高電圧トランジスタスイッチを用いて電気回路を構築し、それによりどれほど短時間までエレクトロスプレーの発生を制御できるか実験するとともに、そのような極限状況でのエレクトロスプレー発生メカニズムについて研究した。この実験では、先端内径が1から4ミクロンのシリカ製キャピラリーに電極として本体直径が120ミクロンのSUS針を挿入し、そのSUS針にパルス高電圧を印加してエレクトロスプレーが発生するかどうかを質量分析計によって確認した。これまでは最短で200 nsまでしかエレクトロスプレーの発生を確認できていなかったが、今回の実験で100 ns以下の短時間でもエレクトロスプレーが発生することを確認した。
- ID情報
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- 課題番号 : 21H03734
- 体系的課題番号 : JP21H03734
この研究課題の成果一覧
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論文
2-
Journal of Vacuum Science and Technology B 41(3) 032807_1-7 2023年5月 査読有り筆頭著者
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Journal of Surface Analysis 29(2) 90-96 2022年12月 査読有り筆頭著者責任著者
MISC
3-
表面分析研究会 第57回研究会 講演資料 3-5 2022年3月 招待有り筆頭著者責任著者
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21st Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions (SISS-21) Abstracts 15-16 2021年12月
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Journal of Surface Analysis 27(2) 104-110 2021年6月 査読有り招待有り筆頭著者責任著者
講演・口頭発表等
12-
SIMS研究会16 2023年8月31日 招待有り
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SISS-22 The International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions 2023年6月15日 Satoka Aoyagi 招待有り
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2023年 第70回応用物理学会 2023年3月16日 応用物理学会
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14th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’22 (ALC'22) 2022年10月19日
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2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月22日 応用物理学会
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23rd International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS23) 2022年9月21日
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第70回質量分析総合討論会 2022年6月24日 日本質量分析学会
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第70回質量分析総合討論会 2022年6月22日 日本質量分析学会
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2022年 第69回応用物理学会 春季学術講演会 2022年3月24日 応用物理学会
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表面分析研究会 第57回研究会 2022年3月3日 表面分析研究会 招待有り