共同研究・競争的資金等の研究課題

2021年4月 - 2025年3月

パルスソース型真空エレクトロスプレービーム銃の開発とTOF-SIMSへの応用

日本学術振興会  科学研究費助成事業 基盤研究(B)  基盤研究(B)

課題番号
21H03734
体系的課題番号
JP21H03734
担当区分
研究代表者
配分額
(総額)
14,430,000円
(直接経費)
11,100,000円
(間接経費)
3,330,000円
資金種別
競争的資金

以前に開発した真空エレクトロスプレー液滴イオン(VEDI)ビーム銃はビームを短パルス化できないという弱点があるため、飛行時間型二次イオン質量分析計(TOF-SIMS)で応用していくことが極めて困難である。そこで本研究では、イオンビームのソース部を極短パルス化するという全く新しい発想のもと、パルスソース型VEDIビーム銃を開発し、それをTOF-SIMSの一次イオンビームとして利用するための研究開発を開始した。
2021年度の研究開発においては、まずどれほど短時間までエレクトロスプレーの発生を制御することができるかを大気圧下での実験によって明らかにした。最短75 nsで9 kVのパルス高電圧まで出力できるプッシュプル型高速高電圧トランジスタスイッチを用いて電気回路を構築し、それによりどれほど短時間までエレクトロスプレーの発生を制御できるか実験するとともに、そのような極限状況でのエレクトロスプレー発生メカニズムについて研究した。この実験では、先端内径が1から4ミクロンのシリカ製キャピラリーに電極として本体直径が120ミクロンのSUS針を挿入し、そのSUS針にパルス高電圧を印加してエレクトロスプレーが発生するかどうかを質量分析計によって確認した。これまでは最短で200 nsまでしかエレクトロスプレーの発生を確認できていなかったが、今回の実験で100 ns以下の短時間でもエレクトロスプレーが発生することを確認した。

リンク情報
KAKEN
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21H03734
ID情報
  • 課題番号 : 21H03734
  • 体系的課題番号 : JP21H03734

この研究課題の成果一覧

論文

  2

MISC

  3

講演・口頭発表等

  12