基本情報

所属
岐阜大学 工学部 機械工学科 機械コース 准教授
研究推進・社会連携機構次世代エネルギー研究センターエネルギー創造分野次世代太陽光発電システム研究開発部門太陽電池評価装置研究開発グループ 准教授(兼)(工学部)
研究推進・社会連携機構次世代金型技術研究センター加工技術研究部門固相成形技術研究室 准教授(兼)(工学部)
工学研究科 准教授
学位
博士(理学)(名古屋大学)

J-GLOBAL ID
200901067603621161

CVD過程での微粒子生成を含む化学反応モデルの構築/プラズマCVDの製膜過程中の化学反応をモデル化し、そこに粒子生成モデルを組み込むことにより、製膜装置の標準化に役立てる。/高速噴流を用いた高速Si製膜手法の開発/ヘテロ接合型太陽電池のミクロ測定

論文

  17

MISC

  10

書籍等出版物

  2

講演・口頭発表等

  46

社会貢献活動

  2

その他

  4