2005年
単結晶シリコン表面のレーザパターニング
精密工学会誌
- ,
- 巻
- 71
- 号
- 6
- 開始ページ
- 729
- 終了ページ
- 733
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.2493/jspe.71.729
- 出版者・発行元
- 公益社団法人精密工学会
アルゴンイオンレーザ光をシリコンウェーハに照射した. レーザ出力3W以上では, 照射跡が隆起した. FT-IRにより隆起部分の表面は酸化していること, ラマン分光分析により内部に引張応力が残留していることが明らかになった. 出力3W以下では隆起は認められないが, 濡れ性や耐腐食性などが変化した. この性質変化部分をKOHエッチングにおけるマスクに応用し, エンコーダ用リニアスケールを試作した.
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.2493/jspe.71.729
- ISSN : 1348-8724
- CiNii Articles ID : 10015673684
- CiNii Books ID : AA11966630