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増田 剛
マスダ ツヨシ (MASUDA TSUYOSHI)
更新日: 2022/12/26
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研究キーワード
研究分野
共同研究・競争的資金等の研究課題
基本情報
所属
CMCマテリアルズ株式会社
学位
工学修士
J-GLOBAL ID
200901042704346070
researchmap会員ID
5000093616
研究キーワード
8
CMP
スラリー
レオロジー
コロイド
CMP
Slurry
Rheology
Colloid
研究分野
4
ナノテク・材料 / 分析化学 /
ナノテク・材料 / 基礎物理化学 /
ナノテク・材料 / ナノ構造物理 /
ナノテク・材料 / ナノ構造化学 /
共同研究・競争的資金等の研究課題
2
CMPスラリーのキャラクタリゼーションと研磨機構の解明
共同研究 2005年 - 2008年
Characterization of CMP slurry and Mechanisms of polishing
Cooperative Research 2005年 - 2008年
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