2013年3月11日 スパッタ堆積Ni極薄膜の電気抵抗その場測定 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 楠本雄司, 松本康平, 関家一樹, 小路紘史, 古田寛, 八田章光 記述言語 日本語 会議種別 リンク情報 URLhttp://jglobal.jst.go.jp/detail.php?from=API&JGLOBAL_ID=201302282332942581