清原 修二

情報通信や情報技術のこれまでの発展は、エレクトロニクス分野の高速化、高密度化、高機能化、低価格化を実現した総合技術に支えられていました。今や物理的・経済的限界を破る技術として新素材、ナノテクノロジーに研究が重点化されています。本研究室では電子ビーム直接描画、イオンビーム加工技術、ナノインプリント技術などのプロセス技術を研究課題としてナノテクノロジー分野に挑戦しています。高温、放射線などの極限環境に強い耐性を示すダイヤモンドを素材としたマイクロマシンやナノデバイス作製のためにインプリント用モールドの作製技術と液滴室温ナノインプリントリソグラフィの研究開発を行っています。また、微細化技術を利用したマイクロ機能デバイスの提案と試作等の研究開発を行っています。開発したPDMSモールドを用い、ダイヤモンドライクカーボン（DLC）製のマイクロモータやギヤを作製し、これを用いて医療用マイクロ・ナノロボットの製造方法を確立させ、本研究で開発されたロボットが医療機関で有効に活用されることが期待されています。