論文

査読有り筆頭著者

2017年

マイクロフォンアレイを用いた枚葉式半導体洗浄装置内に形成される大規模渦構造の検出

日本機械学会論文集

河内俊憲
三好勇輝
中野裕介
永田靖典
柳瀬眞一郎

巻: 83
号: 845
開始ページ: 16
終了ページ: 00441
記述言語: 日本語
掲載種別
DOI: 10.1299/transjsme.16-00441

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.1299/transjsme.16-00441
J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201702217890029779
URL: https://www.jstage.jst.go.jp/article/transjsme/83/845/83_16-00441/_pdf

ID情報

DOI : 10.1299/transjsme.16-00441
ISSN : 2187-9761
eISSN : 2187-9761
J-Global ID : 201702217890029779

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