2021年6月2日
Effects of thermal treatments on the electrical properties of sputter-derived HfO2/Ge interfaces
The 8th International Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies (EM-NANO 2021)
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- 開催年月日
- 2021年6月1日 - 2021年6月3日
- 記述言語
- 英語
- 会議種別
- ポスター発表
- リンク情報
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- 共同研究・競争的資金等の研究課題
- high-k/Ge構造における界面物理構造のプロセス依存の解明