共同研究・競争的資金等の研究課題

2017年4月 - 2020年3月

各種high-k/Ge構造において成膜後プロセスがもたらす効果の検討

東北大学電気通信研究所  共同プロジェクト研究  
  • 岡本浩
    • ,
  • 佐藤茂雄
    • ,
  • 室田淳一
    • ,
  • 櫻庭政夫
    • ,
  • 小野俊郎
    • ,
  • 福田幸夫
    • ,
  • 王谷洋平
担当区分
研究分担者

この研究課題の成果一覧

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講演・口頭発表等

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