基本情報

所属
東京工業大学 オープンファシリティセンター マイクロプロセス部門 部門長/上席技術専門員
学位
博士(工学)(東京工業大学)

J-GLOBAL ID
200901040407647289
researchmap会員ID
6000007154

外部リンク

論文

  274

MISC

  109

書籍等出版物

  5

講演・口頭発表等

  58

担当経験のある科目(授業)

  1

共同研究・競争的資金等の研究課題

  17

産業財産権

  1