特許権 プラズマ発生装置、プラズマ発生体及びプラズマ発生方法 株式会社三英社製作所, 国立大学法人長岡技術科学大学 鎌田 義徳, 内呂 和幸, 原田 信弘, 菊池 崇志, 佐々木 徹, 高橋 一匡 出願番号 特願2014-125850 出願日 2014年6月19日 公開番号 特開2016-004728 公開日 2016年1月12日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201603018497295537 ID情報 J-Global ID : 201603018497295537