特許権 アーク蒸発源 株式会社神戸製鋼所, 国立大学法人長岡技術科学大学 山本 兼司, 水野 雅夫, 奈良井 哲, 原田 信弘, 佐々木 徹, 高橋 一匡, 菊池 崇志, 真木 匠, 佐々木 慶太 出願番号 特願2017-207882 出願日 2017年10月27日 公開番号 特開2018-090904 公開日 2018年6月14日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201803005310418550 ID情報 J-Global ID : 201803005310418550