講演・口頭発表等

2009年3月

Si基板上に製膜した(001)エピタキシャルYSZ薄膜の残留応力の測定と制御

日本セラミックス協会2009年年会、講演番号3C17、2009.3.18、千葉
  • 村上晃浩
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  • 脇谷尚樹
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  • 吉岡朋彦
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  • 田中順三
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  • 篠崎和夫