書籍等出版物

1993年

Nanolithography and Atomic Manipulation on Silicon Surfaces by STM, The Technology of Proximal Probe Lithography

  • F. Grey
    • ,
  • A. Kobayashi
    • ,
  • H. Uchida
    • ,
  • D. H. Huang
    • ,
  • M. Aono
出版者・発行元
SPIE Optical Engineering Press
総ページ数
26
担当ページ
記述言語
英語
著書種別
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