本研究では、水晶振動子微量天秤（QCM）法と光導波路分光法の複合センサを作製するとともに、有機機能性薄膜の堆積過程のその場評価を試みた。まず、複合センサの測定系を構築して有機材料の真空蒸着薄膜の膜厚と光吸収特性の関係を詳細に調べた。特に太陽電池材料である鉛フタロシアニンについて調べており、単分子層以下から数十nmまでの膜厚において分子会合体の形成と配向の様子を基板温度や基板表面処理の効果も含めて検討した。またQCMと表面プラズモン共鳴（SPR）法の複合センサと測定系も構築し、大気中および液中における有機膜の堆積過程のその場評価を行った。