柴原正文 (Shibahara Masafumi) - マイポータル - researchmap

基本情報

所属: 兵庫県立工業技術センター主任研究員,主任研究員

学位: 博士（工学）(大阪大学)

J-GLOBAL ID: 200901050264741942
researchmap会員ID: 6000015037

研究キーワード

1

材料加工・処理

研究分野

1

ナノテク・材料 / 材料加工、組織制御 /

MISC

6

大気圧プラズマ処理によるポリテトラフルオロエチレンの表面改質

柴原正文, 赤松正守, 神崎仁, 山村和也

表面技術協会誌、Vol. 58、 No.7 58(7) 420-424 2007年
大気圧プラズマ処理によるポリエチレンテレフタレートの表面改質

柴原正文, 稲垣官司, 山村和也

表面技術協会誌 58(2) 124-129 2007年
数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究－回転電極とパイプ電極を併用した数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化－

柴原正文, 山村和也, 佐野泰久, 杉山剛, 山本雄介, 遠藤勝義, 森勇藏

精密工学会誌 72(7) 934-938 2006年
Improvement of the thickness distribution of a quartz crystal wafer by numerically controlled plasma chemical vaporization machining

Masafumi Shibahara, Kazuya Yamamura, Yasuhisa Sano, Tsuyoshi Sugiyama, Katsuyoshi Endo, Yuzo Mori

Review of Scientific Instruments 76(9) 096103 2005年9月
数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究－加工装置の開発と基本的加工特性の取得－

山村和也, 柴原正文, 佐野泰久, 杉山剛, 遠藤勝義, 森勇藏

精密工学会誌 71(4) 455-459 2005年
数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究－円筒型回転電極を用いた数値制御加工による水晶ウエハ厚さの均一化－

柴原正文, 山村和也, 佐野泰久, 杉山剛, 遠藤勝義, 森勇藏

精密工学会誌 71(5) 655-659 2005年

所属学協会

2

共同研究・競争的資金等の研究課題

1

紫外レーザー照射と大気圧プラズマ処理を併用したギガヘルツ帯プリント回路基板の開発

科学研究費補助金 2008年 - 2010年