MISC

2005年

数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究-加工装置の開発と基本的加工特性の取得-

精密工学会誌
  • 山村和也
  • ,
  • 柴原正文
  • ,
  • 佐野泰久
  • ,
  • 杉山 剛
  • ,
  • 遠藤勝義
  • ,
  • 森 勇藏

71
4
開始ページ
455
終了ページ
459
DOI
10.2493/jspe.71.455

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https://doi.org/10.2493/jspe.71.455
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  • DOI : 10.2493/jspe.71.455

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