2005
数値制御プラズマCVMによる水晶ウエハの高精度加工に関する研究－加工装置の開発と基本的加工特性の取得－
精密工学会誌
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- Volume
- 71
- Number
- 4
- First page
- 455
- Last page
- 459
- DOI
- 10.2493/jspe.71.455
- Link information
- ID information
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- DOI : 10.2493/jspe.71.455