特許権 微細凹凸パターン付き基板の製造方法及びそれにより得られる微細凹凸パターン付き基板 国立大学法人東北大学 中川勝, 上原卓也, 永瀬和郎, 池戸裕明 出願番号 米国15/507,688 出願日 2015年8月25日 公開番号 WO2016/031237 A1 公開日 2016年3月3日 特許番号/登録番号 US 10,613,433 B2 登録日 2020年4月7日 発行日