共同研究・競争的資金等の研究課題

2014年4月 - 2016年3月

蛍光干渉縞によるsub-10nmアライメント制御技術の創世

科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究  

担当区分
研究代表者
配分額
(総額)
3,900,000円
(直接経費)
3,000,000円
(間接経費)
900,000円
資金種別
競争的資金