2014年4月 - 2016年3月 蛍光干渉縞によるsub-10nmアライメント制御技術の創世 科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究 中川勝 担当区分 研究代表者 配分額 (総額) 3,900,000円 (直接経費) 3,000,000円 (間接経費) 900,000円 資金種別 競争的資金