TAKAO Yoshinori

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Name
TAKAO Yoshinori
E-mail
takaoynu.ac.jp
URL
http://www.takao-lab.ynu.ac.jp
Affiliation
Yokohama National University
Section
Faculty of Engineering Division of Systems Research
Job title
Associate Professor
Research funding number
80552661
ORCID ID
0000-0002-3468-8857

Research Areas

 
 

Academic & Professional Experience

 
Apr 2014
 - 
Today
Associate Professor, Faculty of Engineering Division of Systems Research, Yokohama National University
 
Apr 2018
 - 
Mar 2020
Visiting Associate Professor, Institute of Space and Astronautical Science, Japan Aerospace Exploration Agency
 
Mar 2009
 - 
Mar 2014
Assistant Professor, Graduate School of Engineering, Department of Aeronautics and Astronautics, Kyoto University
 
Apr 2007
 - 
Mar 2009
THine Electronics,Inc.
 
Apr 2004
 - 
Mar 2007
Research Fellowship for Young Scientists of the Japan Society for the Promotion of Science, Japan Society for the Promotion of Science
 

Education

 
Apr 2004
 - 
Mar 2007
Department of Aeronautics and Astronautics, Graduate School, Division of Engineering, Kyoto University
 
Apr 2002
 - 
Mar 2004
Department of Aeronautics and Astronautics, Graduate School, Division of Engineering, Kyoto University
 
Apr 1998
 - 
Mar 2002
Faculty of Engineering, Kyoto University
 

Awards & Honors

 
Oct 2017
Fabrication of electrospray thrusters using Minimum System, The 78th JSAP Autumn Meeting 2017, Poster Award, Japan Society of Applied Physics(JSAP)
Winner: Masayoshi Nagao,Naoki Inoue,Yoshinori Takao,Nariyuki Tasumi,Katsuhisa Murakami,Sommawan Khumpang,Shiro Hara
 

Published Papers

 
Inoue Naoki, Nagao Masayoshi, Murakami Katsuhisa, Khumpuang Sommawan, Hara Shiro, Takao Yoshinori
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   58    Jun 2019   [Refereed]
Nakamura Kengo, Koizumi Hiroyuki, Nakano Masakatsu, Takao Yoshinori
PHYSICS OF PLASMAS   26(4)    Apr 2019   [Refereed]
Nakano M., Nakamura K., Naito Y., Nakagawa Y., Takao Y., Koizumi H.
AIP ADVANCES   9(3) 035343 (10pp)   Mar 2019   [Refereed]
Takahashi Takeshi, Mori Daisuke, Kawanabe Tetsuo, Takao Yoshinori, Eriguchi Koji, Ono Kouichi
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS   125(8) 083301 (21pp)   Feb 2019   [Refereed]
Kazunori Takahashi, Takeharu Sugawara, Hikaru Akahoshi, Yoshinori Takao, and Akira Ando
AIP Advances   8(10) 105117 (10pp)   Oct 2018   [Refereed]
Takumi Hatsuse, Nobuya Nakazaki, Hirotaka Tsuda, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono
Journal of Applied Physics   124(14) 143301 (14pp)   Oct 2018   [Refereed]
Kazunori Takahashi, Yoshinori Takao, and Akira Ando
Applied Physics Letters   113(3) 034101(4pp)   Jul 2018   [Refereed]
Kengo NAKAMURA, Yuichi NAKAGAWA, Hiroyuki KOIZUMI, Yoshinori TAKAO
Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences   61(4) 152–159   Jul 2018   [Refereed]
Nobuya Nakazaki, Haruka Matsumoto, Soma Sonobe, Takumi Hatsuse, Hirotaka Tsuda, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono
AIP Advances   8(5) 055027(12pp)   May 2018   [Refereed]
Kazuma Emoto, Yoshinori Takao, Hitoshi Kuninaka
Biological Sciences in Space   32 1   Apr 2018   [Refereed]
Kazuma Emoto, Toshiyuki Tsuchiya, and Yoshinori Takao
Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences, Aerospace Technology Japan   16(2) 110-115   Mar 2018   [Refereed]
Kazuki Takase, Kazunori Takahashi, and Yoshinori Takao
Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences, Aerospace Technology Japan   16(2) 105-109   Mar 2018   [Refereed]
Kazuki Takase, Kazunori Takahashi, and Yoshinori Takao
Physics of Plasmas   25(2) 023507 (8pp)   Feb 2018   [Refereed]
Masakatsu Nakano, Kengo Nakamura, Yuichi Nakagawa, Daiki Tomita, Yoshinori Takao, and Hiroyuki Koizumi
Physics of Plasmas   25(1) 013524 (11pp)   Jan 2018   [Refereed]
Kouichi Ono, Nobuya Nakazaki, Hirotaka Tsuda, Yoshinori Takao, and Koji Eriguchi
Journal of Physics D: Applied Physics   50 414001 (31pp)   Sep 2017   [Refereed]
Kenta Hiramoto, Yuichi Nakagawa, Hiroyuki Koizumi, and Yoshinori Takao
Physics of Plasmas   24(6) 064504(5pp.)   Jun 2017   [Refereed]
Kaito Nakagawa, Toshiyuki Tsuchiya and Yoshinori Takao
Japanese Journal of Applied Physics   56(6S1) 06GN18   May 2017   [Refereed]
Nobuya Nakazaki, Haruka Matsumoto, Hirotaka Tsuda, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono
Applied Physics Letters   109(20) 204101 (5pp)   Nov 2016   [Refereed]
誘導性結合塩素プラズマによるSiエッチングにいて、初期のラフネスがプラズマエッチングにどのような影響を与えるかを高周波バイアス電力、つまり、入射イオンエネルギーの依存性について、AFMおよびSEMによる観察と古典的分子動力学法および3次元原子スケールセルモデルを用いた数値計算によりて解析した。入射イオンエネルギーが高い場合にエッチング後Si表面が滑らかになるのはイオン散乱と反射の効果が弱められる事に起因していると明らかになった。
Kazunori Takahashi, Yoshinori Takao, and Akira Ando
Applied Physics Letters   109(19) 194101 (4pp)   Nov 2016   [Refereed]
高密度ヘリコンプラズマスラスタにおいて推進剤ガスのアルゴンをスラスタの上流と下流の2方向から導入し様々な流量比で推進性能を測定した結果、下流から推進剤ガスを導入する比率を上げるほど推力が上昇した。この時、スラスタ上流側でプラズマ密度ピークが得られていた分布がより一様な分布になっていた。高周波電力が高い程、ガスの導入比率による推力の差が大きく、これらの結果は1次元理論で導かれる結果と定性的に一致した。
Kenta Hiramoto and Yoshinori Takao
Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences,Aerospace Technology Japan   14(ists30) Pb_57-Pb_62   Sep 2016   [Refereed]
イオンスラスタの推力密度を向上させるため、超小型高周波放電式イオンスラスタを対象にプラズマ源からイオン引き出しまでを統一的に粒子計算手法を用いて解析を行った。イオンビーム電流はスクリーン電極と加速電極の電極間距離およびスクリーングリッド厚さに影響を受けるが、スクリーングリッド電極の穴径には影響を受けない事が明らかになった。また、ガス圧3.2 mTorr、吸収電力500 mW、電位差1.1 kVにおいてはスクリーン電極と加速電極の穴径の差は1.4 mmと求まった。
Kaito Nakagawa and Yoshinori Takao
Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences, Aerospace Technology Japan   14(ists30) Pb_63-Pb_68   Sep 2016   [Refereed]
超小型高周波放電式イオンスラスタのプラズマ源について、最適なプラズマ生成条件を調べるためインピーダンス解析を行った。解析には等価回路モデルに加えグローバルモデルによるプラズマ密度、温度の依存性を取り入れることで自己無撞着に最適な高周波周波数、ガス圧力を算出することが可能になった。容量性結合が誘導性結合よりも支配的でありシース抵抗が電力結合に大きく影響を与える事が明らかになった。
Yoshinori Takao, Hiroyuki Koizumi, Yusuke Kasagi, and Kimiya Komurasaki
Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences, Aerospace Technology Japan   14(ists30) Pb_41-Pb_46   Sep 2016   [Refereed]
50-kg級超小型人工衛星に搭載されているマイクロ波放電式イオン推進システムの中和器において、電子がオリフィスから引き出される機構について3次元粒子計算を用いて解析を行った。オリフィスプレートに流れる電流密度分布は実験結果と良い一致を示すことから数値計算モデルの妥当性が得られた。また、引き出される電子の軌跡を追跡することにより、シースポテンシャル障壁での反射によって磁力線を移動しオリフィス入口へ侵入する様子が明らかになった。
Yoshinori Takao, Kenta Hiramoto, Yuichi Nakagawa, Yusuke Kasagi, Hiroyuki Koizumi and Kimiya Komurasaki
Japanese Journal of Applied Physics   55(7S2) 07LD09 (5pp)   Jul 2016   [Refereed]
50-kg級超小型人工衛星に搭載されているマイクロ波放電式イオン推進システムの中和器において、強い磁場で拘束されている電子がオリフィスから引き出される機構について3次元粒子計算を用いて解析を行った。その結果、プラズマ源内部において生じる静電場が電子引き出しに大きく貢献している事が分かり、また、引き出される電子は磁力線に沿って運動しながらオリフィス入口に近付いたところでE×Bドリフト効果によって引き出される事が分かった。
Kentaro Nishida, Yukimasa Okada, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono
Japanese Journal of Applied Physics   55(6S2) 06HB04 (6pp)   Jun 2016   [Refereed]
層間絶縁膜に対するプラズマ誘起ダメージの定量化のために、新しいcapacitance-voltage (C-V)法と名付けた電気的なモニタリング法を提案した。この方法ではC-V特性のヒステリシスループを測ることでプラズマ誘起ダメージによって生成されるキャリアトラップを発見し、層間絶縁膜の比誘電率および厚さの変化を評価することが可能になる。これによりC-V特性のヒステリシスループのシフト量を監視することで表面近傍に生成される欠陥密度を推定することができ、半導体回路特性の評価に利用できることが...
Kazunori Takahashi, Yoshinori Takao, and Akira Ando,
Applied Physics Letters   108(7) 074103 (4pp)   Feb 2016   [Refereed]
高密度ヘリコンプラズマスラスタにおける電力上昇に伴う推力上昇の飽和減少が生じる要因の一つとして推進剤ガスの枯渇に伴う、プラズマ密度分布の軸方向非対称性が挙げられる。本論文ではこの枯渇過程を発光分光法とプローブによるイオン飽和電流測定(プラズマ密度測定)を用いて、プラズマ点火時から測定し、プラズマ点火直後のプラズマ密度分布を使う、つまり、パルス放電にするこことで推力電力比向上が可能なことを実験的に示したものである。
Nobuya Nakazaki, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono,
Journal of Applied Physics   118(23) 233304 (18pp)   Dec 2015   [Refereed]
塩素および臭素系プラズマSiエッチングにおける表面反応を調べるため古典的分子動力学法を用いた数値計算により塩素および臭素が存在する表面における入射された塩素イオンと臭素イオンの振る舞いについて解析した。計算で求まったエッチイールドとしきい値はこれまで実験で測定されている塩素および臭素プラズマエッチングおよびCl+、Cl2+,Br+ビームエッチングのいずれとも良く合致した。また、Siエッチングでは塩素系よりも臭素系の方がエッチイールド、表面被覆層の厚さともに小さい傾向にあることが明らかになった。
Yoshinori Takao and Kazunori Takahashi,
Physics of Plasmas   22(11) 113509 (6pp)   Nov 2015   [Refereed]
高密度ヘリコンプラズマスラスタにおける電力上昇に伴う推力上昇の飽和減少が生じる要因の一つとして推進剤ガスの枯渇に伴う、プラズマ密度分布の軸方向非対称性が挙げられる。この軸方向に非対称なプラズマ分布によりポテンシャル分布も軸方向に非対称となり、より軸方向に加速されるイオンが壁面における軸方向運動量の損失につながり推力の上昇を妨げていると考えられる点を、壁面での粒子の境界条件に制約がなく自己無撞着に算出できる粒子計算により実証したものである。
Ikumi Yamada, Yutaro Hirano, Kenkichi Nishimura, Yoshinori Takao, Koji Eriguchi, and Kouichi Ono,
Applied Physics Express   8(6) 066201 (4pp)   Jun 2015   [Refereed]
従来VLS法、CVD法でしか生成されていなかったSiナノワイヤをSiおよびSiO2表面に高周波Ar/H2マグネトロンスパッタ法によって初めて生成させた実験である。スパッタ法で生成できることにより、有毒なガスや高温の細い炉を用いること無く大口径な反応炉でSiナノワイヤを大量生産できる可能性を示せた。実験では、金の薄膜層を触媒としてSiナノワイヤがランダムな方向に直径350 nm、長さ20 m程度のものが大量に生成されていた。
N. Nakazaki, H. Tsuda, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
J. Appl. Phys.   116(22) 223302   Dec 2014   [Refereed]
誘導性結合塩素プラズマエッチング中における原子スケールの表面ラフネスについて、高周波バイアス電力(つまり、イオン入射エネルギー)、供給ガス流量、Siウェハ温度、エッチング時間の依存性を実験的に解析した。その結果、200-300 eV程度以下の低いイオン入射エネルギーでは表面ラフネスが入射エネルギーとともに上昇するモード、および、高い入射イオンエネルギーでは逆に入射エネルギーとともに表面ラフネスが現象するモードの2つの異なるモードが得られる事が明らかになった。
Y. Takao, H. Koizumi, K. Komurasaki, K. Eriguchi, and K. Ono
Plasma Sources Sci. Technol.   23(6) 064004   Dec 2014   [Refereed][Invited]
50-kg級超小型人工衛星に搭載され、このクラスの衛星では世界で初めて宇宙で運用実証されたイオンスラスタに用いられたマイクロ波放電式プラズマ源について3次元粒子計算モデルを用いて、その内部現象を解析した。リング磁石によって生成されるミラー磁場により効果的に電子が閉じ込められ、電子サイクロトロン共鳴領域が存在するアンテナ下流直下において高密度プラズマが生成され、放電室側壁での損失が少なくイオン源として望ましい放電形態であることが明らかになった。
H. Tsuda, N. Nakazaki, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
J. Vac. Sci. Technol. B   32(3) 031212   May 2014   [Refereed]
3次元原子スケールセルモデルを用いて、Cl2およびCl2/O2プラズマエッチングにおけるSi表面のラフネスとリップル現象を原子スケールで、統計的なラフネス、局所的な酸素によるマスク生成、イオン反射、イオン侵入角度、および、表面温度を考慮して解析した。実験との比較の結果、イオンエネルギーが250 eV以下ではエッチレートとラフネスの二乗平均平方根が良く一致し、それ以上では一致しないことが明らかになった。
N. Nakazaki, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   53(5) 056201   May 2014   [Refereed]
塩素系プラズマエッチング中におけるSiClx+イオンのエッチング生成物の表面反応を調べるため、改良したStillinger-Weberポテンシャルを使った古典的分子動力学数値計算を用いた解析を行った。計算で得られたエッチイールドおよびしきい値は実験で求められた値とよく合致していた。ハロゲン当たりの並進運動エネルギーを同じにして比較すると、ハロゲン当たりのエッチイールド、しきい値、塩素原子の表面被覆率、塩素化された表面層の厚さはほとんど同じになることが明らかになった。
Yoshinori TAKAO, Masataka SAKAMOTO, Koji ERIGUCHI, Kouichi ONO
Transactions of the Japan Society for Aeronautical and Space Sciences, Aerospace Technology Japan   12(ists29) Pb_13-Pb_18   Mar 2014   [Refereed]
高周波放電式の超小型イオンスラスタを対象とし、イオン源となる誘導結合型プラズマ源の粒子計算(PIC-MCC法)に加えて、外部高周波回路からイオンビーム引き出しまでを非物理的な仮定を行わずに統一的に解析できるモデルを構築した。また、プローブによるイオン源の密度測定およびイオンビーム電流測定を行い、実験結果との比較を行うことでモデルを検証した。その結果、対象とする運用条件の範囲において実験結果をよく再現できることを確認した。
M. Noma, K. Eriguchi, Y. Takao, N. Terayama, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   53(3S2) 03DB02   Mar 2014   [Refereed]
磁場印加型プラズマイオンプレーティング法を用いて、これまで実現が難しかった立方晶系多層窒化ホウ素膜の新しい成膜プロセスを提案した。具体的には、陽極の温度を調節することにより電流と陽極に堆積する窒化ホウ素膜の形成を安定化させ、また、基板に蒸着する窒素ラジカルとホウ素原子間の反応を促進するための安定した基板電流を高密度Ar/N2プラズマ生成により実現した。これにより、層間剥離の生じない膜形成が実現できた。
A. Matsuda, Y. Nakakubo, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   53(3S2) 03DF01   Mar 2014   [Refereed]
非接触な光学的解析手法であるフォトリフレクタンス分光について、シリコン基板上に幅15 mまでレーザーを集光する新しい解析手法を提案した。これにより、プラズマエッチング中に生じる高エネルギーイオンによるシリコン基板の物理ダメージを、表面ポテンシャルの変化の観点から定量的にマイクロメートルスケールで評価することが可能になった。またレーザー照射を斜めではなく垂直にすることで、高アスペクト比構造の底のダメージ評価も可能になった。
M. Kamei, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   53(3S2) 03DF02   Mar 2014   [Refereed]
微細化されたMOSFETで観測されるRTN (random telegraph noise)がどのようにプラズマチャージングダメージの影響を受けるかを電気的特性の変化から解析を行った。その結果、ドレイン電流の変動がゲート電圧の減少とともに増加し、プラズマチャージングダメージの量とともに増加することが分かった。また、閾値電圧の変化が増加するとともにドレイン電流の変位も増加した。よって、プラズマチャージングダメージ量を計測するにはドレイン電流の変動を考慮する必要が示唆された。
K. Eriguchi, A. Matsuda, Y. Takao, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   53(3S2) 03DE02   Mar 2014   [Refereed]
FinFET(fin状のチャネルを備えた電界効果トランジスタ)におけるプラズマの物理ダメージについて解析を行った。MOSFETにおけるダメージ形成と比較して、入射イオンの統計的なプロセス効果が支配的になることがMD計算により明らかになった。これは高エネルギーを持った軽いイオンが基板の奥まで侵入しやすいことに起因しており、このことはfin状のチャネルにおいて潜在的な結晶欠陥の形成を示唆し、それ故、トランジスタ回路の動作速度が遅くなる可能性が生じる。
Yoshinori Takao, Koji Eriguchi and Kouichi Ono
Journal of Applied Physics   112(9) 093306   Nov 2012   [Refereed]
H. Tsuda, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   51 08HC01   2012   [Refereed]
K. Eriguchi, M. Kamei, Y. Takao, and K. Ono
2012 IIRW FINAL REPORT   (012) 80–84   2012   [Refereed]
Yoshinori Takao, Kenji Matsuoka, Koji Eriguchi and Kouichi Ono
Japanese Journal of Applied Physics   50(8) 08JC02   Aug 2011   [Refereed]
H. Tsuda, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   50(8) 08KB02   Aug 2011   [Refereed]
H. Tsuda, H. Miyata, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   50(8) 08JE06   Aug 2011   [Refereed]
A. Matsuda, Y. Nakakubo, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   50(8) 08KD03   Aug 2011   [Refereed]
K. Eriguchi, Y. Takao, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   50(8) 08JE04   Aug 2011   [Refereed]
K. Eriguchi, Y. Nakakubo, A. Matsuda, M. Kamei, Y. Takao, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   50(8) 08KD04   Aug 2011   [Refereed]
T. Takahashi, Y. Takao, Y. Ichida, K. Eriguchi, and K. Ono
Phys. Plasmas   18(6) 063505   Jul 2011   [Refereed]
K. Eriguchi, Y. Takao, and K. Ono
J. Vac. Sci. Technol. A   29(4) 041303   Jul 2011   [Refereed]
M. Fukasawa, Y. Nakakubo, A. Matsuda, Y. Takao, K. Eriguchi, K. Ono, M. Minami, F. Uesawa, and T. Tatsumi
J. Vac. Sci. Technol. A   29(4) 041301   Jun 2011   [Refereed]
Yoshinori Takao, Kenji Matsuoka, Koji Eriguchi and Kouichi Ono
AIP Conference Proceedings   1333(1) 1051-1056   May 2011   [Refereed]
K. Eriguchi, M. Kamei, Y. Takao, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   50 10PG02   2011   [Refereed]
Yoshinori Takao, Naoki Kusaba, Koji Eriguchi and Kouichi Ono
Journal of Applied Physics   108(9) 093309   Nov 2010   [Refereed]
H. Tsuda, M. Mori, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Thin Solid Films   518(13) 3475–3480   Apr 2010   [Refereed]
A. Matsuda, Y. Nakakubo, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Thin Solid Films   518(13) 3481–3486   Apr 2010   [Refereed]
H. Tsuda, M. Mori, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   49 08JE01   2010   [Refereed]
Y. Nakakubo, A. Matsuda, M. Fukasawa, Y. Takao, T. Tatsumi, K. Eriguchi, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   49 08JD02   2010   [Refereed]
K. Eriguchi, Y. Nakakubo, A. Matsuda, Y. Takao, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   49(5) 056203   2010   [Refereed]
K. Eriguchi, Y. Nakakubo, A. Matsuda, M. Kamei, Y. Takao, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   49 08JC02   2010   [Refereed]
K. Eriguchi, Y. Nakakubo, A. Matsuda, M. Kamei, Y. Takao, and K. Ono
Jpn. J. Appl. Phys.   49(4) 04DA18   2010   [Refereed]
T. Takahashi, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Phys. Plasmas   16(8) 083505   Aug 2009   [Refereed]
H. Fukumoto, I. Fujikake, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Plasma Sources Sci. Technol.   18(4) 045027   2009   [Refereed]
K. Eriguchi, Y. Nakakubo, A. Matsuda, Y. Takao, and K. Ono
IEEE Electr. Device Lett.   30(12) 1275–1277   2009   [Refereed]
T. Takahashi, Y. Ichida, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
Trans. JSASS Space Tech. Japan   7 135–140   2009   [Refereed]
Yoshinori Takao, Takeshi Takahashi, Koji Eriguchi and Kouichi Ono
Pure and Applied Chemistry   80(9) 2013–2023   Sep 2008   [Refereed]
T. Takahashi, Y. Takao, K. Eriguchi, and K. Ono
J. Phys. D: Appl. Phys.   41(19) 194005   2008   [Refereed]
Yoshinori Takao, Koji Eriguchi and Kouichi Ono
Journal of Applied Physics   101(12) 123307   Jun 2007   [Refereed]
Yoshinori Takao, Kouichi Ono, Kazuo Takahashi and Koji Eriguchi
Japanese Journal of Applied Physics   45(10B) 8235-8240   Oct 2006   [Refereed]
Yoshinori Takao, Kouichi Ono, Kazuo Takahashi, Yuichi Setsuhara
Thin Solid Films   506-507 592-596   May 2006   [Refereed]
Yoshinori Takao and Kouichi Ono
Plasma Sources Science and Technology   15(2) 211-227   May 2006   [Refereed]
TAKAO Yoshinori,ONO Kouichi
Jounal of High Temperature Society of Japan   31(5) 283-290   2005   [Refereed]

Misc

 
Yoshinori TAKAO, Toshiyuki TSUCHIYA, Masayoshi NAGAO, Katsuhisa MURAKAMI
Aeronautical and Space Sciences Japan   67(1) 5-11   Jan 2019   [Refereed]

Conference Activities & Talks

 
1cm級磁場印加プラズマ源を対象とした粒子計算と宇宙推進機への応 [Invited]
鷹尾 祥典
Plasma Conference 2017   Nov 2017   公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会,公益社団法人 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会,一般社団法人 日本物理学会,日本学術振興会 プラズマ材料科学第153委員会
3D Particle Simulation for Electron Extraction Mechanisms of a Miniature Microwave Discharge Neutralizer
Kenta Hiramoto, Yuichi Nakagawa, Hiroyuki Koizumi, and Kimiya Komurasaki, Yoshinori Takao
Proceedings of the 52nd AIAA/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference (Propulsion and Energy Forum).<3D Particle Simulation for Electron Extraction Mechanisms of a Miniature Microwave Discharge Neutralizer>   Jul 2016   
50-kg級超小型人工衛星に搭載されているマイクロ波放電式イオン推進システムの中和器において、電子がオリフィスから引き出される機構について3次元粒子計算を用いて解析を行った。その結果、プラズマ源内部において生じる静電場の内、周方向成分の電場と径方向の磁場によって生じるE×Bドリフトにより電子が磁場を横切る動きに寄与し、最終的にオリフィス入口に近付き引き出される事が明らかになった。
AIAA-2016-4946 (11 pages) に掲載
Validation of a 3D Particle Simulation Model for a Miniature Microwave Discharge Ion Thruster
Yoshinori Takao, Koji Eriguchi, Kouichi Ono, Yuto Sugita, Hiroyuki Koizumi, and Kimiya Komurasaki
Proceedings of the 50th AIAA/ASME/SAE/ASEE Joint Propulsion Conference (Propulsion and Energy Forum).<Validation of a 3D Particle Simulation Model for a Miniature Microwave Discharge Ion Thruster>   Jul 2014   
超小型人工衛星の軌道・姿勢制御を用途とした静電加速型のマイクロ放電式マイクロイオンスラスタに対し、3次元電磁場解析(FDTD法)と粒子計算(PIC-MCC法)を組み合わせた数値計算モデルで解析を行った。特にプラズマ電流の影響を調べたところ、低電力プラズマのためにプラズマ電流の放電特性に対する寄与は小さい事が明らかになった。また、レーザー吸収分光測定による準安定原子測定結果との比較を行い、原子分布形状および密度のオーダーでの一致が確認できた。
IAA-2014-3829 (8 pages) に掲載
Plasma Diagnostics in a Miniature Microwave Discharge Ion Thruster
Y. Sugita, H.Koizumi, R. Tsukizaki, H. Kuninaka, Y. Takao, Y. Yamagiwa, M. Matsui
Proceedings of the 33rd International Electric Propulsion Conference.<Plasma Diagnostics in a Miniature Microwave Discharge Ion Thruster>   Oct 2013   
超小型人工衛星の軌道・姿勢制御を用途とした静電加速型のマイクロ放電式マイクロイオンスラスタに対し、内部可視化スラスタを製作し、レーザー吸収分光測定を用いて、寿命の長い準安定原子Xe I 823.16 nm (1s5)の密度分布測定を行った。Xeガス流量0.15 sccm、マイクロ波電力1 Wにおいて、ECR加熱が生じるところでリングドーナツ状の準安定原子分布が捉えられ、絶対値としては6-9×1017 m-3となり、ECRプラズマとしては妥当な値が得られた。
IEPC-2013-245 (8...
Three-Dimensional Particle-in-Cell Simulation of a Miniature Microwave Discharge Ion Thruster µ1
Y. Takao, K. Eriguchi, K. Ono, Y. Sugita, H. Koizumi, and K. Komurasaki
Proceedings of the 33rd International Electric Propulsion Conference.<Three-Dimensional Particle-in-Cell Simulation of a Miniature Microwave Discharge Ion Thruster µ1>   Oct 2013   
超小型人工衛星の軌道・姿勢制御を用途とした静電加速型のマイクロ放電式マイクロイオンスラスタに対し、3次元電磁場解析(FDTD法)と粒子計算(PIC-MCC法)を組み合わせた数値解析モデルを構築し、その計算結果とレーザー吸収分光測定による結果との比較検証を行った。その結果、ECR加熱が生じるところでリングドーナツ状のプラズマ分布および準安定原子分布が実験と計算の双方で捉えられ、計算の妥当性が確認できた。
IEPC-2013-186 (11 pages)に掲載