塚田 隆夫

電磁浮遊法に静磁場を重畳することによって液滴の振動及び対流を抑制かつ制御し，高温浮遊液滴の熱伝導率，比熱，放射率，密度，表面張力を測定する要素技術を確立し，各要素技術を高温融体の物性計測システムとして一つにまとめたプロト機を製作する。

本研究は、工業的に利用されているCZ炉に関して、融液内対流、固液界面近傍の熱拡散場、固液界面形状、さらには固液界面上の局所結晶成長速度や不純物濃度の時空間変動を解析するための手法を確立し、操作条件⇔融液内熱拡散場の時空間変動⇔結晶の欠陥の相関を明らかにする。

本研究では、シリコン基板に塗布したコンポジット薄膜のアニーリング操作に伴うdewetting現象の発生・成長過程のその場観察を行い、dewetting現象に及ぼすナノ粒子の存在の影響を実験的に検討する。

チョクラルスキー（CZ）法による酸化物単結晶成長プロセスを対象とし、融液内対流の３次元非定常性を考慮した総合熱解析手法を開発し、固液界面形状等に及ぼす操作条件の影響を検討する。

本研究の目的は、重力効果に加えて、2成分混合液膜層内に温度勾配、初期濃度勾配、さらにはこれら分布に起因して発現するマクロスケールの対流が存在する場合の相分離過程・構造を系統的に検討することである。ここでは、この目的を達成するために、1) 相分離現象及び対流パターンのその場観察実験、並びに2) 温度勾配及び初期濃度勾配共存下での相分離現象の数値シミュレーションを行う。