2019年10月
計測表面の保護を目指した高分解能MEMS触覚センサ上へのパリレン蒸着 (第11回 集積化MEMSシンポジウム)
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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- 巻
- 2019-October
- 号
- 開始ページ
- PAPER ID 1686
- 終了ページ
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.1109/SENSORS43011.2019.8956814
- 出版者・発行元
- Institute of Electrical Engineers of Japan
- リンク情報
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- DOI
- https://doi.org/10.1109/SENSORS43011.2019.8956814
- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/40022582136
- Scopus
- https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85078701329&origin=inward
- Scopus Citedby
- https://www.scopus.com/inward/citedby.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85078701329&origin=inward
- URL
- http://id.ndl.go.jp/bib/031484266
- ID情報
-
- DOI : 10.1109/SENSORS43011.2019.8956814
- ISSN : 1930-0395
- eISSN : 2168-9229
- ISBN : 9781728116341
- CiNii Articles ID : 40022582136
- SCOPUS ID : 85078701329