2017年10月 TiNを用いたMEMSガスセンサ用マイクロヒータの作製と評価 第34回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 伊藤浩, 新國 広幸 記述言語 日本語 会議種別 ポスター発表
