特許権 マイクロ駆動装置及びそれを用いたマイクロデバイス 学校法人早稲田大学 岩瀬英治, 飯野知紗 出願番号 特願2014-074963 出願日 2014年3月31日 公開番号 特開WO2015/152309 公開日 2015年10月8日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201703005631531644URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201703005631531644 ID情報 J-Global ID : 201703005631531644