講演・口頭発表等

国際会議
2016年11月8日

Operation of Three-Dimensional MEMS Mirror by Single Superposed Driving Signal

Proceedings of the 29th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2016)
  • Toshiya Nagasawa
    • ,
  • Yohei Oguchi
    • ,
  • Eiji Iwase
記述言語
英語
会議種別
口頭発表（一般）
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