2016年3月 第5回集積化MEMS技術研究会ワークショップ 優秀ポスター賞 応用物理学会集積化MEMS技術研究会 石井 仁, 西村祐典, 林隆平, 中澤寛一, 石田誠, 澤田和明, 町田克之, 益一哉, 王常楽, 飯田健一郎, 齋藤光正, 吉田眞一