MISC

2018年9月5日

InP/Si Chip‐on‐Waferプラズマ活性化接合における加重依存性の検討

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
  • BAI Liu
  • ,
  • 菊地健彦
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  • 菊地健彦
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  • 西山伸彦
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  • 西山伸彦
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  • 八木英樹
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  • 雨宮智宏
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  • 雨宮智宏
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  • 荒井滋久
  • ,
  • 荒井滋久

79th
開始ページ
ROMBUNNO.18p‐212A‐5
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201802213713386433
URL
http://jglobal.jst.go.jp/public/201802213713386433