2021年9月21日 微小空間における高効率プラズマ生成のための磁気回路設計 2021年度精密工学会秋季大会学術講演会 倉島優一, 本村大成, 渡邉満洋, 柳町真也, 松前貴司, 高木秀樹, 日暮栄治 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般) 主催者 精密工学会 開催地 オンライン(神戸大学)