特許権 薄膜誘電体 公益財団法人電磁材料研究所 小林 伸聖, 岩佐 忠義, 横井 敦史, 大沼 繁弘 出願番号 特願2010-214360 出願日 2010年9月24日 公開番号 特開2012-069428 公開日 2012年4月5日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201203026513443846 ID情報 J-Global ID : 201203026513443846