
笠嶋 悠司
カサシマ ユウジ (Yuji Kasashima)
更新日: 2024/07/30
基本情報
- 所属
- 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 センシングシステム研究センター生産プロセス評価研究チーム
- J-GLOBAL ID
- 201001065213672391
- researchmap会員ID
- 6000022440
- 外部リンク
研究分野
1論文
28-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58(4) 2019年4月 査読有り
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56(6) 2017年6月 査読有り
-
The Encyclopedia of Plasma Technology 2017年 査読有り
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55(12) 2016年12月 査読有り
-
Journal of the Vacuum Society of Japan 59(1) 11-15 2016年 査読有り
-
Journal of the Vacuum Society of Japan 59(12) 360-363 2016年 査読有り
-
Journal of the Vacuum Society of Japan 59(10) 270-275 2016年 査読有り
-
INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING (ISSM) 2016 PROCEEDINGS OF TECHNICAL PAPERS 2016年 査読有り
-
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 86(10) 2015年10月 査読有り
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 54(6) 2015年6月 査読有り
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 54(1) 2015年1月 査読有り
-
Journal of the Vacuum Society of Japan 58(10) 392-396 2015年 査読有り
-
2015 Joint e-Manufacturing and Design Collaboration Symposium (eMDC) & 2015 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM) 2015年 査読有り
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 53(11) 2014年11月 査読有り
-
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 47(42) 2014年10月 査読有り
-
APPLIED PHYSICS EXPRESS 7(9) 2014年9月 査読有り
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 53(4) 2014年4月 査読有り
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 53(3) 2014年3月 査読有り
-
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 53(3) 2014年3月 査読有り
-
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 85(2) 2014年2月 査読有り
MISC
5-
96(3) 117-121 2020年3月
-
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2013(104) 11-13 2013年9月5日
-
電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2013(104) 15-19 2013年9月5日
-
検査技術 18(8) 9-14 2013年8月
-
電子情報通信学会技術研究報告 : 信学技報 112(456) 5-7 2013年3月5日