論文

査読有り
2020年2月

Highly self-oriented growth of (020) and (002) monoclinic HfO2 thick films using laser chemical vapor deposition

Ceramics International
  • S. Matsumoto
  • ,
  • Y. Kaneda
  • ,
  • A. Ito

46
2
開始ページ
1810
終了ページ
1815
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1016/j.ceramint.2019.09.156

リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2019.09.156