論文

査読有り
2019年9月

Highly self-oriented growth of (020) and (002) monoclinic HfO2 thick films using laser chemical vapor deposition

Ceramics International
  • Shogen Matsumoto
  • ,
  • Yuko Kaneda
  • ,
  • Akihiko Ito

accepted
記述言語
英語
掲載種別
研究論文(学術雑誌)
DOI
10.1016/j.ceramint.2019.09.156

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DOI
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2019.09.156