
山田 宏
ヤマダ ヒロシ (Hiroshi Yamada)
更新日: 2022/11/10
基本情報
研究分野
7論文
31-
Journal of Vacuum Science & Technology, A26 (pp. 36-43) 26(1) 36-43 2008年1月 査読有り
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Journal of Applied Physics, 103 (pp. 014502_1-014502_9) 103(1) 2008年1月 査読有り
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Journal of Vacuum Science & Technology, A25 (pp. 340-346) 2007年3月 査読有り
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JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 100(12) 2006年12月 査読有り
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JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 100(3) 2006年8月 査読有り
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ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS 9(3) G93-G95 2006年 査読有り
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Journal of Vacuum Science & Technology, A23 (pp. 599-604) 23(4) 599-604 2005年7月 査読有り
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Journal of Electronic Materials, 33 (pp. 802-808) 2004年7月 査読有り
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 22(1) 82-87 2004年1月 査読有り
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Journal of Vacuum Science & Technology, B21 (pp. 1329-1334) 21(4) 1329-1334 2003年7月 査読有り
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JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 93(8) 4902-4908 2003年4月 査読有り
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JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY 149(11) B487-B490 2002年11月 査読有り
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Journal of Materials Science Letters, 21 (pp. 1493-1495) 2002年10月 査読有り
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 20(5) 1847-1852 2002年9月 査読有り
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Journal of Applied Physics, 91 (pp. 1108-1112) 2002年2月 査読有り
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Journal of Electronic Materials, 30 (pp. 1021-1027) 2001年8月 査読有り
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Journal of Vacuum Science & Technology, A19 (pp. 627-632) 2001年3月 査読有り
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Journal of Applied Physics, 86 (pp. 5968-5974) 1999年12月 査読有り
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Journal of Electronic Materials, 28 (pp. 377-384) 1999年4月 査読有り
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Journal of Applied Physics, 82 (pp. 4916-4922) 1997年11月 査読有り
MISC
14-
特開2007-314864 2007年11月
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特開2007-144686 2007年6月
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特開2007-012847 2007年1月
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特開2001-326141 2001年11月
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特開2001-250718 2001年9月
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特開2001-250424. 2001年9月
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特開2001-217113 2001年8月
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特開2001-167922 2001年6月
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特開2001-110622. 2001年4月
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特開2001-39717 2001年2月
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特開2001-52913 2001年2月
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特開2000-223341 2000年8月
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特開2000-200873 2000年7月
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特開2000-91124 2000年3月
書籍等出版物
1-
「Siデバイス・プロセス技術 ― 極限追及と実用化」向井監修, 荒井・酒井編著, NTT出版 2017年3月