基本情報

所属
香川大学 創造工学部 教授
学位
博士(工学)(長岡技術科学大学)

J-GLOBAL ID
201001062328869661
researchmap会員ID
6000023472

研究キーワード

  2

論文

  65

MISC

  140

主要な書籍等出版物

  3
  • (担当:分担執筆, 範囲:2編 薄膜の作製と加工 第6章 パタ-ン化技術 3節 エッチング 1項 ウエットエッチングとドライエッチング)
    株式会社 エヌ・ティ-・エス 2020年2月 (ISBN: 9784860436315)  査読有り

講演・口頭発表等

  105

共同研究・競争的資金等の研究課題

  8