MISC

2020年10月26日

SU-8ナノ加工を用いた光操作ナノニードルの開発

「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
  • 原田 雅彦
  • ,
  • 高尾 英邦
  • ,
  • 下川 房男
  • ,
  • 寺尾 京平

37
開始ページ
6p
終了ページ
記述言語
日本語
掲載種別
出版者・発行元
Institute of Electrical Engineers of Japan

リンク情報
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/40022580339
URL
http://id.ndl.go.jp/bib/031480150
ID情報
  • CiNii Articles ID : 40022580339

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