2012年4月 - 2015年3月
超低消費電力ポリマー3次元光インターコネクションスイッチングデバイスの開発
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B)
低消費電力ポリマー3次元光スイッチング回路の実現及び機能デバイスへの展開を目指して、まず複数種類ポリマーの多層化に伴うによるクラックの発生、導波路形状の変形の問題についてプロセス条件の最適化により解決した。それを元に、4x4構成3次元光スイッチなどを実現した。比較的低い消費電力でほぼ偏光無依存、また1530~1610nmの広波長域動作を達成し、ポリマー導波路の低消費電力3次元光スイッチング回路への展開の可能性を実証した。同時に、ポリマー導波路の機能光デバイス展開として、半導体集積ポリマーリング共振器フィルタや導波路型クレッチマン表面プラズモンセンサーを実現し、その有用性を示した。
- ID情報
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- 課題番号 : 24360139
- 体系的課題番号 : JP24360139