2014年4月 - 2016年3月
ICP Ar Intermixing による量子ドットレーザ集積光デバイスの研究
日本学術振興会 科学研究費助成事業 若手研究(B)
近年、量子ドット(QD)構造を用いた半導体レーザ(LD)の研究開発が進展し、その高い特性が注目されている。また、光デバイスは単一素子でなく、様々な要素素子を基板上に集積し、高機能・高付加価値化を目指した研究がなされている。本研究では、Intermixingという技術を従来用いられなかった1550nm帯のQD構造に応用する技術を開発し、良好なQD-LD集積素子を実証した。Intermixingの物理現象についても学術的に考察し、そのメカニズムの一端を明らかにした。本研究は従来取られている方法に対し、より簡易で短時間に低コストで素子作製が可能であり、今後さらに実用に寄与することが期待される。
- ID情報
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- 課題番号 : 26820133
- 体系的課題番号 : JP26820133