MISC

2011年3月

高能率高精度Ｘ線ミラー加工のためのIBF(Ion Beam Figuring)システムの開発

2011年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集

北村真一
松山智至
三村秀和
佐野泰久
山内和人

巻: G16
号
記述言語: 日本語
掲載種別
DOI: 10.11522/pscjspe.2011S.0.513.0

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.11522/pscjspe.2011S.0.513.0

ID情報

DOI : 10.11522/pscjspe.2011S.0.513.0

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