鈴木恵友 (Keisuke Suzuki) - マイポータル

基本情報

所属: 九州工業大学大学院情報工学研究院知的システム工学研究系教授
: (兼任)情報工学部情報工学部機械情報工学科長
: (兼任)大学院情報工学研究院情報工学研究院機械情報工学研究系長

学位: 博士（材料科学）(北陸先端科学技術大学院大学)

J-GLOBAL ID: 201001019524065454
researchmap会員ID: 6000023874

外部リンク: http://www.kyutech-iizuka.jp

研究キーワード

経歴

2018年 - 2019年

九州工業大学大学院情報工学研究院情報工学研究院機械情報工学研究系長
2018年 - 2019年

九州工業大学情報工学部情報工学部機械情報工学科長
2017年 - 2018年

九州工業大学大学院情報工学研究院情報工学研究院機械情報工学研究系長
2017年 - 2018年

九州工業大学情報工学部情報工学部機械情報工学科長
2016年

九州工業大学大学院情報工学研究院機械情報工学研究系教授
2016年

Professor,Department of Mechanical Information Science and Technology,Faculty of Computer Science and Systems Engineering,Kyushu Institute of Technology

学歴

MISC

Effects of mixed ultrafine colloidal silica particles on chemical mechanical polishing of sapphire

Bun-Athuek N, Takazaki H, Yoshimoto Y, Khajornrungruang P, Yasunaga T, Suzuki K

Japanese Journal of Applied Physics 57(7) 2018年
Effects of mixed ultrafine colloidal silica particles on chemical mechanical polishing of sapphire

Natthaphon Bun-Athuek, Hiroko Takazaki, Yutaka Yoshimoto, Panart Khajornrungruang, Takuo Yasunaga, Keisuke Suzuki

Japanese Journal of Applied Physics 57(7) 2018年
Evaluation of Magnetic Cutting and Polishing with Superconducting Bulks

Y. Hiramatsu, Y. Takahashi, E. S. Otabe, K. Suzuki, Y. Tanaka, M. Kiuchi

Journal of Physics: Conference Series 871(1) 2017年7月26日
Evaluation of Magnetic Cutting and Polishing with Superconducting Bulks

Y. Hiramatsu, Y. Takahashi, E. S. Otabe, K. Suzuki, Y. Tanaka, M. Kiuchi

Journal of Physics: Conference Series 871(1) 2017年7月26日
Study on effect of the surface variation of colloidal silica abrasive during chemical mechanical polishing of sapphire

Natthaphon Bun-Athuek, Yutaka Yoshimoto, Koya Sakai, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56(7) 2017年7月
In situ measurement method for film thickness using transparency resin sheet with low refractive index under wet condition on chemical mechanical polishing

Takahiro Oniki, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56(7) 2017年7月
Study on effect of the surface variation of colloidal silica abrasive during chemical mechanical polishing of sapphire

Natthaphon Bun-Athuek, Yutaka Yoshimoto, Koya Sakai, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 56(7) 2017年7月
In situ measurement method for film thickness using transparency resin sheet with low refractive index under wet condition on chemical mechanical polishing

Takahiro Oniki, Panart Khajornrungruang, Keisuke Suzuki

Japanese Journal of Applied Physics 56(7) 2017年7月1日
Micro tool diameter monitoring by means of laser diffraction for on-machine measurement

Panart Khajornrungruang, Keiichi Kimura, Keisuke Suzuki, Tomoki Inoue

International Journal of Automation Technology 11(5) 736-741 2017年
Micro tool diameter monitoring by means of laser diffraction for on-machine measurement

Panart Khajornrungruang, Keiichi Kimura, Keisuke Suzuki, Tomoki Inoue

International Journal of Automation Technology 11(5) 736-741 2017年
Light scattering model for individual sub-100-nm particle size determination in an evanescent field

Panart Khajornrungruang, Sevim Korkmaz, Pal Angshuman, Keisuke Suzuki, Keiichi Kimura, Suryadevara V. Babu

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55(6) 2016年6月
Light scattering model for individual sub-100-nm particle size determination in an evanescent field

Panart Khajornrungruang, Sevim Korkmaz, Pal Angshuman, Keisuke Suzuki, Keiichi Kimura, Suryadevara V. Babu

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 55(6) 2016年6月
Study on evaluation method for surface topography of polishing pad based on optical Fourier transform

Suzuki K, Tajiri T, Khajornrungruang P, Mochizuki Y, Hiyama H, Matsuo H

2015 International Conference on Planarization/CMP Technology, ICPT 2015 2016年
Study on evaluation method for surface topography of polishing pad based on optical Fourier transform

2016年
Study on evaluation method for polishing pad surface topography based on optical fourier transform

Khajornrungruang, P, Suzuki, K, Kushida, T, Tajiri, T, Matsuo, H, Mochizuki, Y, Hiyama, H, Kimura, K

International Conference on Planarization/CMP Technology (ICPT2014) 205-208 2015年
Study on evaluation method for polishing pad surface topography based on optical fourier transform

205-208 2015年
Spatial Fourier Transform Analysis of Polishing Pad Surface Topography

Panart Khajornrungruang, Keiichi Kimura, Takahisa Okuzono, Keisuke Suzuki, Takashi Kushida

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 51(5) 2012年5月
Spatial Fourier Transform Analysis of Polishing Pad Surface Topography

Panart Khajornrungruang, Keiichi Kimura, Takahisa Okuzono, Keisuke Suzuki, Takashi Kushida

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 51(5) 2012年5月
High precision tool cutting edge monitoring using laser diffraction for on-machine measurement

Panart Khajornrungruang, Keiichi Kimura, Yasuhiro Takaya, Keisuke Suzuki

International Journal of Automation Technology 6(2) 163-167 2012年
High precision tool cutting edge monitoring using laser diffraction for on-machine measurement

Panart Khajornrungruang, Keiichi Kimura, Yasuhiro Takaya, Keisuke Suzuki

International Journal of Automation Technology 6(2) 163-167 2012年

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講演・口頭発表等

Analytical on mixed colloidal silica particle in slurry of sapphire Chemical Mechanical Polishing

Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21 2018年
Analytical on mixed colloidal silica particle in slurry of sapphire Chemical Mechanical Polishing

LEM21 2018年
Analytical on mixed colloidal silica particle in slurry of sapphire chemical mechanical polishing

Proceedings of the 9th International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, LEM 2017 2017年
近接場光による非接触式工具先端位置検出法

年次大会 2017年
超伝導バルクを利用した磁気浮上工具による中空加工技術に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集 2017年
超伝導による磁気浮上工具を用いた加工技術に関する研究

日本機械学会九州支部講演論文集 2017年
低屈折率の透明樹脂パッドを用いたCMPにおけるモニタリング技術に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集 2017年
ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集 2017年
Nanoparticle Application of Polyhydroxylated Fullerene (Fullerenol) on Post Cleaning Process of Copper Wafer

精密工学会学術講演会講演論文集 2017年
Non-contact Micro Tool Tip Position Detection Method by Evanescent Light Field

The Proceedings of Mechanical Engineering Congress, Japan 2017年
Study on processing technology using magnetic levitation tool by superconducting

Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2017年
Study on processing technology using magnetic levitation tool by superconducting

The Proceedings of Conference of Kyushu Branch 2017年
Nanoparticle Application of Polyhydroxylated Fullerene (Fullerenol) on Post Cleaning Process of Copper Wafer

Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2017年
透明マイクロパターンパッドを用いた CMP 中の微粒子観察に関する研究

年次大会 2016年
超伝導バルクを利用した磁気浮上工具による中空加工技術に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集 2016年
ポリシング前後におけるスラリー中の研磨微粒子径に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集 2016年
ナノスケールにおける加工現象可視化に関する研究

精密工学会学術講演会講演論文集 2016年
I-11 サファイアCMPにおけるコロイダルシリカと水酸化フラーレンの混合スラリーの最適化

日本機械学会九州支部講演論文集 2016年
Study on fine particles observation using Transparency micro-patterned pad during CMP

The Proceedings of Mechanical Engineering Congress, Japan 2016年
Study on On-Machine Visualization of Surface Processing Phenomena in Nanoscale:the apparatus development

Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2016年

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Works(作品等)

超伝導砥粒を用いた磁気援用選択加工技術に関する研究

2014年 - 2017年
フラーレンナノ微粒子を用いた超精密加工技術に関する研究

2011年 - 2014年

鈴木恵友

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経歴

学歴

MISC

講演・口頭発表等

Works(作品等)

共同研究・競争的資金等の研究課題

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