特許権
研磨具及び研磨装置
国立大学法人大阪大学, 株式会社荏原製作所
- ,
- ,
- ,
- ,
- ,
- 出願番号
- 特願2013-215415
- 出願日
- 2013年10月16日
- 公開番号
- 特開2014-027299
- 公開日
- 2014年2月6日
- 特許番号/登録番号
- 特許第5682076号
- 登録日
- 発行日
- 2015年1月23日
- リンク情報
- ID情報
-
- J-Global ID : 201503080138153440