MISC

2012年2月17日

接合型ポリマー光導波路の作製

電気学会誘電・絶縁材料研究会資料
  • 杉原興浩
  • ,
  • 松井嵩行
  • ,
  • 戒能俊邦
  • ,
  • 小松京嗣

DEI-12
41-43.45-51
開始ページ
43
終了ページ
46
記述言語
日本語
掲載種別
出版者・発行元
一般社団法人電子情報通信学会

ポリマーならではの特長を活かした簡便な光回路作製プロセスを用いて、アクティブポリマー光導波路、特に接合型光導波路の作製法について紹介する。ソフトリソグラフィー法と光架橋性高分子の直接露光法の組み合わせ技術は、パッシブポリマー光導波路作製簡易プロセスを適用していることから、時間・工程の短縮につながる。接合部一箇所当たりの接合損失は、0.007dB/pointであり、従来のプロセスによる接合損失と同等の低損失値であった。

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201202230690737763
CiNii Articles
http://ci.nii.ac.jp/naid/110009482090
CiNii Books
http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN10013334
URL
http://jglobal.jst.go.jp/public/201202230690737763
ID情報
  • ISSN : 0913-5685
  • J-Global ID : 201202230690737763
  • CiNii Articles ID : 110009482090
  • CiNii Books ID : AN10013334

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