共同研究・競争的資金等の研究課題

2014年4月 - 2016年3月

酸化反応自己停止現象を用いたシリセン・イン・オキサド構造形成プロセスの開発

公益財団法人倉田記念日立科学技術財団倉田奨励金

小川修一

担当区分: 研究代表者
資金種別: 競争的資金

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論文

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Roles of excess minority carrier recombination and chemisorbed O₂ species at SiO₂/Si interfaces in Si dry oxidation: Comparison between p-Si(001) and n-Si(001) surfaces

Yasutaka Tsuda, Akitaka Yoshigoe, Shuichi Ogawa, Tetsuya Sakamoto, Yoshiki Yamamoto, Yukio Yamamoto, Yuji Takakuwa

The Journal of Chemical Physics 157(23) 234705/1-21 2022年12月19日査読有り

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