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宮川 春彦
ミヤガワ ハルヒコ (miyagawa haruhiko)
更新日: 2010/10/05
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研究キーワード
研究分野
共同研究・競争的資金等の研究課題
基本情報
所属
大阪大学
工学研究科 大学院生(博士課程)
J-GLOBAL ID
201001018793394131
researchmap会員ID
6000025593
研究キーワード
6
生産プロセス
電子デバイス
多層膜
薄膜
耐熱
金属
研究分野
4
ナノテク・材料 / 金属材料物性 /
ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 電子デバイス、電子機器 /
ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学) / 加工学、生産工学 /
ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性 /
共同研究・競争的資金等の研究課題
1
電子デバイス用高耐熱金属多層薄膜形成に関する研究
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