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宮川 春彦

ミヤガワ ハルヒコ  (miyagawa haruhiko)
更新日: 2010/10/05
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  • 共同研究・競争的資金等の研究課題

基本情報

所属
大阪大学 工学研究科 大学院生（博士課程）
J-GLOBAL ID
201001018793394131
researchmap会員ID
6000025593

研究キーワード

  6
  • 生産プロセス 
  • 電子デバイス 
  • 多層膜 
  • 薄膜 
  • 耐熱 
  • 金属 

研究分野

  4
  • ナノテク・材料 / 金属材料物性 /  
  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電子デバイス、電子機器 /  
  • ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 加工学、生産工学 /  
  • ナノテク・材料 / 薄膜、表面界面物性 /  

共同研究・競争的資金等の研究課題

  1
  • 電子デバイス用高耐熱金属多層薄膜形成に関する研究 

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