講演・口頭発表等

2021年3月

Ge基板に替わりGe-on-Siを用いることによる歪みSiGeへのクラック発生抑制

第68回 応用物理学会春季学術講演会
  • 我妻 勇哉、Md. Mahfuz Alam、岡田 和也、山田 道洋、浜屋 宏平、澤野 憲太郎

開催年月日
2021年3月16日 - 2021年3月19日
記述言語
日本語
会議種別
口頭発表(一般)