2021年3月 Ge基板に替わりGe-on-Siを用いることによる歪みSiGeへのクラック発生抑制 第68回 応用物理学会春季学術講演会 我妻 勇哉、Md. Mahfuz Alam、岡田 和也、山田 道洋、浜屋 宏平、澤野 憲太郎 開催年月日 2021年3月16日 - 2021年3月19日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)