2013年4月 - 2015年3月
強誘電体ナノロッドを用いた超高集積強誘電体メモリ用キャパシタの作製
日本学術振興会 科学研究費助成事業 挑戦的萌芽研究 挑戦的萌芽研究
超高集積強誘電体メモリ(FeRAMs)への応用を目指した強誘電体ナノロッドキャパシタを作製した。有機金属気相成長(MOCVD)法により凸型テンプレートとなるZnOナノロッドやナノワイヤを基板上に成長させ、その上に強誘電体Pb(Zr,Ti)O3(PZT)や(Hf,Zr)O2をやはりMOCVD法により被覆堆積させた。さらに、ZnOをその上に堆積させることでZnO/PZT/ZnO及びZnO/(Hf,Zr)O2/ZnOナノロッド(ナノワイヤ)キャパシタ構造を作製することに成功した。パターン化されたPt上にのみZnOナノロッドを選択成長することも出来た。
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- 課題番号 : 25630130
- 体系的課題番号 : JP25630130