泉 隼人
イズミ ハヤト (Hayato Izumi)
更新日: 2022/09/11
基本情報
研究キーワード
2経歴
1-
2010年3月 - 現在
論文
42-
Journal of Materials Science 2021年11月 査読有り
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Thin Solid Films 694 137613 2020年1月31日 査読有り
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Proceedings of ICMCTF2019 2019年5月19日
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Proceedings of the 16th International Conference on Plasma Surface Engineering 2018年9月17日
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Sensors and Actuators A: Physical 2018年7月3日 査読有り
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Proceedings of the Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 2018年6月24日
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Proceedings of Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 2018 2018年6月24日
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Proceedings of The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 2017年6月
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Proceedings of International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016 2016年12月
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Effect of hydrogen on the mobility of surface defects inducued in plasma etching process for siliconProceedings of Plasma Surface Engineering 2016 2016年9月
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Sensors and Actuators A: Physical 2016年6月 査読有り
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The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2015 2015年6月
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Materials Letters 2015年3月1日 査読有り
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41th Internatinal Conference on Metallurgical Coating and Thin Films 2014年4月28日
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Materials Letters 2014年4月 査読有り
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Sensors and Actuators A 2014年2月 査読有り
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ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Interraction of Electronic and Photnic Microsystems (InterPACK2013) 2013年7月 査読有り
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The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystem (Transduers 2013) 2013年6月
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Journal of Micromechanics and Microengineering 23 1-10 2013年2月21日 査読有り
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Technical Digest of the 13th International Conference on Electronics Materials and Packaging 2011年12月12日
MISC
2-
精密工学会誌 74(11) 1156-1159 2008年11月5日
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砥粒加工学会誌 2006年5月1日
書籍等出版物
1-
Security and Dependability in a New Era 2007年4月
講演・口頭発表等
60-
日本機械学会2019年度年次大会 2019年9月8日
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日本機械学会2019年度年次大会 2019年9月8日
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日本機械学会2019年度年次大会 2019年9月8日
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46th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 2019年5月19日
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有機機能材料のリソグラフィ加工コンソーシアム 2018年9月25日 招待有り
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16th International Conference on Plasma Surface Engineering 2018年9月17日
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日本機械学会2018年度年次大会 2018年9月9日
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日本機械学会2018年度年次大会 2018年9月9日
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The 9th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2018) 2018年6月24日
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The 9th Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2018) 2018年6月24日
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日本機械学会東海支部第67期総会・講演会 2018年3月13日
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日本機械学会M&M2017材料力学カンファレンス 2017年10月7日
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日本機械学会2017年度年次大会 2017年9月3日
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日本機械学会2017年度年次大会 2017年9月3日
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日本機械学会2017年度年次大会 2017年9月3日
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The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’2017) 2017年6月18日
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International Symposium on Micro-Nano Science and Technology 2016 2016年12月16日
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Effect of hydrogen on the mobility of surface defects inducued in plasma etching process for silicon15th International Conference on Plasma Surface Engineering 2016年9月12日
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日本機械学会東海支部第65期総会・講演会 2016年3月17日
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日本機械学会東海支部第65期総会・講演会 2016年3月17日
共同研究・競争的資金等の研究課題
7-
日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C) 2018年4月 - 現在
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2016年4月 - 現在
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2016年 - 現在
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2010年4月 - 現在
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2010年3月 - 現在
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2016年4月 - 2019年4月
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日本学術振興会 科学研究費助成事業 若手研究(B) 2015年4月 - 2018年3月